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QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置
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網(wǎng)站：cnhmt.cn
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用途
UVオゾン洗浄
ドライエッチング / ソフトアッシング
UVアニール
表面改質(zhì)
レジスト殘渣除去
ガラス貼り合せ
光CVDなど成膜
仕様
| 波長 | 172nm | |
|---|---|---|
| 照射開口 | φ100mm | |
| *大照度 | 70mW/cm2 | |
| 分布 | ±7% | |
| ユーティリティ | N2、冷卻水、AC100V | |
| 機能 | 真空対応可能 | |